Language:日本語
 

製品

オンラインメッセージ

ご意見や提案がございましたら、気楽に弊社までご連絡ください!


cust-service@akribis-sys.com


+81 42 359 4295

フィードバック>>

貴方の現在の位置:トップページ >> 製品 >> リニアモータステージ >> DGL シリーズ
製品
  • Name: DGL シリーズ
  • Explain: ダブルレールリニアモータステージ
  • DGLシリーズはアクリビスのリニアモータシステムで動く、高精度で信頼性の高いステージです。アクリビスの標準的なステージシステムのひとつとして、高性能で費用効率も良く、便利なソリューションを提供します。

 

デザイン機能

 

A. ダイレクトドライブリニアモータ位置制御システム

B. 正確な動きとホーミング

C. 3種類のカバー(クリーンルームカバーを含む)

D. 100mmから1,200mmのストローク

E. モジュラ設計

 DGLシリーズ(デュアルガイドリニアモータシステム)はアクリビスのリニアモータシステムで動く高精度で信頼性の高いステージです。アクリビスの標準的なステージシステムのひとつとして、高性能で費用効率も良く、便利なソリューションを提供します。

 

ダイレクトドライブリニアモータ位置制御システム

DGLシリーズはアクリビスのリニアモータによって直接駆動されます。リニアモータは、コアもブラシもないAUMシリーズと、コアありブラシなしのACMシリーズの2種類があります。AUMシリーズはコギングがないので、低速で滑らかな動きが可能です。ACMシリーズは同じサイズのモータの中でもより強い力を提供することができます。

 

正確な動きとホーミング

高精度光学エンコーダーシステムが統合されたDGLシリーズで、正確な位置決めを行うことができます。

 

モジュラ設計

顧客がステージシステムを簡単に構築できるようにモジュラ設計になっています。

 

MODEL

Maxium Bearing Load

Recommended Roll Moment Recommended Pitch Moment Recommended YawMoment
Unit N Nm Nm Nm
DGL150 AUM2 S2 2480 109 108 108
S3
S4
ACM1 S30 3944 173 236 236
L30 355 355
DGL180 AUM3 S2 213 236 236
S3 355 355
S4 355 355
ACM1 S50 236 236
L50 355 355
DGL200 AUM4 S2 256 236 236
S3 355 355
S4 355 355
ACM1 S80 236 236
L80 355 355
ACM2 S1 355 355
S2 473 473
ACM3 S1 355 355
S2 473 473
DGL250 AUM5 S2 345 236 236
S3 355 355
S4 355 355
ACM1 S100 236 236
L100 355 355
ACM4 S1 9360 795 842 842
S2 1123 1123

 

Performance Parameter Unit Value
Acceleration G 10
Velocity (1μm resolution) m/s 5 (40μm scale pitch and 20MHz counter frequency)
Velocity (0.5μm resolution) 2.5 (20μm scale pitch and 20MHz counter frequency)
Velocity (0.1μm resolution) 1.3 (20μm scale pitch and 20MHz counter frequency)
Velocity(Analogue) 8 (40μm scale pitch and 200KHz input frequency)
4 (20μm scale pitch and 200KHz input frequency)
*Straightness μm ±3μm/25mm,NTE±8μm/300mm
*Flatness ±3μm/25mm,NTE±8μm/300mm
Repeatability (1μm resolution) ±3μm (40μm scale pitch)
Repeatability (0.5μm resolution) ±1.5μm (20μm scale pitch)
Repeatability (0.1μm resolution) ±1μm (20μm scale pitch)
Repeatability (Analogue) ±5counts

* All measurement taken when module is mounted on a 5micron flat granite table.

MODEL DGL150 DGL180 DGL200 DGL250
MOTOR AUM2 ACM1 AUM3 ACM1 AUM4 ACM1 ACM2 ACM3 AUM5 ACM1 ACM4
S2 S3 S4 S30 L30 S2 S3 S4 S50 L50 S2 S3 S4 S80 L80 S1 S2 S1 S2 S2 S3 S4 S100 L100 S1 S2

Size

(mm)

 

Carriage Length A 125 180 240 180 240 180 240 180 240 180 240 - 370 240 370 240 370 180 240 370
Carriage Mounting Hole B 37.5 47 77 47 77 47 77 47 77 47 77 142 77 142 77 142 47 77 142
E 15 26
F 154 191 213 257
Base Mounting Hole C 85 120 136 166
D 125 160 175 232
Module Height H 63 76 88.7 97.7 107 120.2 100 120.2
Module Width W 149 184 206 250
Module Length X Z + 2Y + 20
Hard Stopper Position Y 96.5 125 155 126 156 150 180 130 160 150 180 245 180 245 180 245 156 186 185 245
Effective Stroke Z From 100 to 1200
 

 

MODEL DGL150 DGL180 DGL200
MOTOR AUM2 ACM1 AUM3 ACM1 AUM4 ACM1
S2 S3 S4 S30 L30 S2 S3 S4 S50 L50 S2 S3 S4 S80 L80

Size

(mm)

 

Carriage Length A 125 180 240 180 240 180 240 180 240 180 240
Carriage Mounting Hole B 37.5 47 77 47 77 47 77 47 77 47 77
E 15 26
F 88 115 137
Base Mounting Hole C 85 120 136
D 125 160 175
Module Height H 57 70 78 83.5
Module Width W 149 184 206
Module Length X Z + 2Y + 20
Hard Stopper Position Y 96.5 125 155 126 156 150 180 130 160 150 180
Effective Stroke Z From 100 to 1200

 

MODEL DGL150 DGL180 DGL200
MOTOR AUM2 ACM1 AUM3 ACM1 AUM4 ACM1
S2 S3 S4 S30 L30 S2 S3 S4 S50 L50 S2 S3 S4 S80 L80

Size

(mm)

 

Carriage Length A 167.5 222.5 282.5 222.5 282.5 222.5 282.5 222.5 282.5 222.5 282.5
Carriage Mounting Hole B 37.5 47 77 47 77 47 77 47 77 47 77
E 15 26
F 50 75 99
Base Mounting Hole C 85 120 136
D 125 160 175
Module Height H 70 83 94 99.5
Module Width W 149 184 206
Module Length X Z + 2Y + 20
Hard Stopper Position Y 96.5 125 155 126 156 150 180 130 160 150 180
Effective Stroke Z From 100 to 1200

添付ファイルをダウンロード: DGL シリーズ 【查看】