デザイン機能
A. ダイレクトドライブコアなしリニアモータ位置制御システム
B. 正確な動きとホーミング
C. 細身のデザイン
D. 100ｍｍから1,200ｍｍのストローク
E. モジュラ設計
SGLシリーズ(シングルガイドリニアモータステージ）は、アクリビスのリニアモータで動く、高精度で信頼性の高いステージです。アクリビスの標準的なステージとして、高性能で費用効率も良く、便利なソリューションを提供します。
ダイレクトドライブコアなしリニアモータ位置制御システム
SGLシリーズは、コアなしリニアモータで直接駆動されます。ゆっくり滑らかに動き、レスポンスが良く整定時間が短いのが特徴です。
細身のデザイン
SGLシリーズはシングルガイドデザインのためDGLシリーズと比べ細身のデザインとなります。荷重が小さく、幅が限られたところに適しています。
正確な動きとホーミング
高精度光学エンコーダーシステムが統合されたSGLシリーズで、正確な位置決めを行うことができます。
モジュラ設計
顧客がステージシステムを簡単に構築できるようなモジュラ設計になっています。
|
MODEL |
SGL80 |
SGL100 |
SGL120 |
|
MOTOR |
AUM2 |
AUM3 |
AUM4 |
|
S2 |
S3 |
S4 |
S2 |
S3 |
S4 |
S2 |
S3 |
S4 |
|
Size
(mm)
|
Carriage (A)
|
121
|
145
|
181
|
214
|
145
|
181
|
241
|
|
Module Height (H)
|
77
|
94
|
118.5
|
|
Module Width (W)
|
107
|
132
|
132
|
|
Limit Position (Y1)
|
86.5
|
98.5
|
116.5
|
146.5
|
100.5
|
118.5
|
148.5
|
|
Limit Position (Y2)
|
76.5
|
88.5
|
106.5
|
136.5
|
90.5
|
108.5
|
138.5
|
|
Carriage Mounting Hole (B)
|
30
|
30
|
40
|
60
|
30
|
40
|
60
|
|
Carriage Mounting Hole (C)
|
40
|
40
|
50
|
70
|
40
|
50
|
70
|
|
Carriage Mounting Hole (F)
|
99
|
122
|
|
Base Mounting Hole (G)
|
34.5
|
43
|
|
Base Mounting Hole (E1)
|
36
|
36
|
38
|
|
Base Mounting Hole (E2)
|
26
|
26
|
28
|
|
Moving Mass (Kg)
|
0.84
|
0.86
|
0.96
|
1.5
|
1.9
|
2.4
|
1.7
|
2.3
|
2.7
|
|
Stroke
(mm)
|
200 |
Module Mass
(Kg)
|
5.0 |
5.0 |
5.1 |
8.4 |
9.6 |
11.1 |
11.3 |
13.2 |
15.1 |
|
300 |
5.5 |
5.5 |
5.6 |
10.1 |
1.0.8 |
12.5 |
14.1 |
14.9
|
17.0 |
|
400 |
7.1 |
7.1 |
7.2 |
11.7 |
12.9 |
14.4 |
16.1 |
17.9 |
19.8 |
|
500 |
8.3 |
8.3 |
8.4 |
13.7 |
14.9 |
16.4 |
18.9 |
20.7 |
22.6 |
|
600 |
9.2 |
9.2 |
9.3 |
15.6 |
16.3 |
17.8 |
21.7 |
22.7 |
24.6 |
|
1000 |
13.1 |
13.1 |
13.1 |
22.3 |
23.5 |
24.9 |
31.2 |
33.0 |
34.9 |
|
1200 |
14.4
|
14.5
|
14.5
|
26.1
|
26.5
|
28.3
|
36.8
|
37.8
|
39.7
|
|
Stroke
(mm)
|
200 |
Total Length
(mm)
|
383
|
407
|
443
|
503
|
411
|
447
|
507
|
|
300 |
483
|
507
|
543
|
603
|
511
|
547
|
607
|
|
400 |
583
|
607
|
643
|
703
|
611
|
647
|
707
|
|
500 |
683
|
707
|
743
|
803
|
711
|
747
|
807
|
|
600 |
783
|
807
|
843
|
903
|
811
|
847
|
907
|
|
1000 |
1183
|
1207
|
1243
|
1303
|
1211
|
1247
|
1307
|
|
1200 |
1283
|
1407
|
1443
|
1503
|
1411
|
1447
|
1507
|
|
Bearing Parameters
|
Maximum Bearing Load (N)
|
1360
|
1560
|
|
Recommended Roll Moment (Nm)
|
5.2
|
7.4
|
|
Recommended Pitch Moment (Nm)
|
103.8
|
135.4
|
191.6
|
285.2
|
135.4
|
191.6
|
285.2
|
|
Recommended Yaw Moment (Nm)
|
|
Performance Parameter |
Unit |
Value |
|
Acceleration |
G |
10 |
|
Velocity (1μm resolution) |
m/s |
5 (40μm scale pitch and 20MHz counter frequency) |
|
Velocity (0.5μm resolution) |
2.5 (20μm scale pitch and 20MHz counter frequency) |
|
Velocity (0.1μm resolution) |
1.3 (20μm scale pitch and 20MHz counter frequency) |
|
Velocity(Analogue) |
8 (40μm scale pitch and 200KHz input frequency) |
|
4 (20μm scale pitch and 200KHz input frequency) |
|
*Straightness |
μm |
±3μm/25mm，NTE±10μm/300mm |
|
*Flatness |
±3μm/25mm，NTE±10μm/300mm |
|
Repeatability (1μm resolution) |
±3μm (40μm scale pitch) |
|
Repeatability (0.5μm resolution) |
±1.5μm (20μm scale pitch) |
|
Repeatability (0.1μm resolution) |
±1μm (20μm scale pitch) |
|
Repeatability (Analogue) |
±5counts |
* All measurement taken when module is mounted on a 5micron flat granite table.
：