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  • Name: SGL シリーズ
  • Explain: シングルレールリニアモータステージ
  • SGLシリーズは、高精度で信頼性の高いシングルガイドリニアモータステージです。アクリビスの標準的なステージとして、高性能で費用効率も良く、便利なソリューションを提供します。

 

デザイン機能

 

A. ダイレクトドライブコアなしリニアモータ位置制御システム

B. 正確な動きとホーミング

C. 細身のデザイン

D. 100mmから1,200mmのストローク

E. モジュラ設計

SGLシリーズ(シングルガイドリニアモータステージ)は、アクリビスのリニアモータで動く、高精度で信頼性の高いステージです。アクリビスの標準的なステージとして、高性能で費用効率も良く、便利なソリューションを提供します。

 

ダイレクトドライブコアなしリニアモータ位置制御システム

SGLシリーズは、コアなしリニアモータで直接駆動されます。ゆっくり滑らかに動き、レスポンスが良く整定時間が短いのが特徴です。

 

細身のデザイン

SGLシリーズはシングルガイドデザインのためDGLシリーズと比べ細身のデザインとなります。荷重が小さく、幅が限られたところに適しています。

 

正確な動きとホーミング

高精度光学エンコーダーシステムが統合されたSGLシリーズで、正確な位置決めを行うことができます。

 

モジュラ設計

顧客がステージシステムを簡単に構築できるようなモジュラ設計になっています。

 

MODEL SGL80 SGL100 SGL120
MOTOR AUM2 AUM3 AUM4
S2 S3 S4 S2 S3 S4 S2 S3 S4

Size

(mm)

Carriage (A)

121

145

181

214

145

181

241

Module Height (H)

77

94

118.5

Module Width (W)

107

132

132

Limit Position (Y1)

86.5

98.5

116.5

146.5

100.5

118.5

148.5

Limit Position (Y2)

76.5

88.5

106.5

136.5

90.5

108.5

138.5

Carriage Mounting Hole (B)

30

30

40

60

30

40

60

Carriage Mounting Hole (C)

40

40

50

70

40

50

70

Carriage Mounting Hole (F)

99

122

Base Mounting Hole (G)

34.5

43

Base Mounting Hole (E1)

36

36

38

Base Mounting Hole (E2)

26

26

28

Moving Mass (Kg)

0.84

0.86

0.96

1.5

1.9

2.4

1.7

2.3

2.7

Stroke

(mm)

200

Module Mass

(Kg)

5.0 5.0 5.1 8.4 9.6 11.1 11.3 13.2 15.1
300 5.5 5.5 5.6 10.1 1.0.8 12.5 14.1

14.9

17.0
400 7.1 7.1 7.2 11.7 12.9 14.4 16.1 17.9 19.8
500 8.3 8.3 8.4 13.7 14.9 16.4 18.9 20.7 22.6
600 9.2 9.2 9.3 15.6 16.3 17.8 21.7 22.7 24.6
1000 13.1 13.1 13.1 22.3 23.5 24.9 31.2 33.0 34.9
1200

14.4

14.5

14.5

26.1

26.5

28.3

36.8

37.8

39.7

Stroke

(mm)

200

Total Length

(mm)

383

407

443

503

411

447

507

300

483

507

543

603

511

547

607

400

583

607

643

703

611

647

707

500

683

707

743

803

711

747

807

600

783

807

843

903

811

847

907

1000

1183

1207

1243

1303

1211

1247

1307

1200

1283

1407

1443

1503

1411

1447

1507

Bearing Parameters

Maximum Bearing Load (N)

1360

1560

Recommended Roll Moment (Nm)

5.2

7.4 

Recommended Pitch Moment (Nm)

103.8

135.4

191.6

285.2

135.4

191.6

285.2

Recommended Yaw Moment (Nm)

 

Performance Parameter Unit Value
Acceleration G 10
Velocity (1μm resolution) m/s 5 (40μm scale pitch and 20MHz counter frequency)
Velocity (0.5μm resolution) 2.5 (20μm scale pitch and 20MHz counter frequency)
Velocity (0.1μm resolution) 1.3 (20μm scale pitch and 20MHz counter frequency)
Velocity(Analogue) 8 (40μm scale pitch and 200KHz input frequency)
4 (20μm scale pitch and 200KHz input frequency)
*Straightness μm ±3μm/25mm,NTE±10μm/300mm
*Flatness ±3μm/25mm,NTE±10μm/300mm
Repeatability (1μm resolution) ±3μm (40μm scale pitch)
Repeatability (0.5μm resolution) ±1.5μm (20μm scale pitch)
Repeatability (0.1μm resolution) ±1μm (20μm scale pitch)
Repeatability (Analogue) ±5counts

* All measurement taken when module is mounted on a 5micron flat granite table.

添付ファイルをダウンロード: SGL シリーズ 【查看】