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  • Name: GHD シリーズ
  • Explain: Gantry H Drive Stage
  • GHDステージ(H型ドライブガントリーステージ)は、アクリビスのリニアモータシステムによって動き、高精度なポジショニングと剛性が高いことが特徴です。

 

デザイン機能

 
A. ダイレクトドライブリニアモータ位置制御システム
B. 正確な動きとホーミング
C. 非常に剛性が高い
D. Hドライブ設計
E. 2つのフィードバック付きHドライブ/1つのフィードバック付きHドライブ
 
GHDステージ(H型ドライブガントリーステージ)は、アクリビスのリニアモータシステムによって動き、高精度なポジショニングと剛性が高いことが特徴です。 Hドライブで2つのフィードバックと Hドライブで1つのフィードバックの2種類を選ぶことができます。2つのフィードバックのHドライブはブリッジが長く、高精度が必要な場合に向いています。1つのフィードバックのHドライブはブリッジが短く、あまり高精度を必要としない場合に向いています。

 

Specification Module GHD510
Drive Type 1 T or H
Axis Top Bottom
Motor ACM1-L50 ACM3-S1
Performance Parameter Unit
Constant Force, Coil@100℃ N 160 293
Peak Force N 692.4 878
Motor Constant

N/SqRt(W)

22.6 29.4
Continuous Power W 50.3 99.1
Peak Power W 936.2 891.6
Magnetic Period mm 20 42
Max Coil Temperature 130 130
Constant Current Arms 4.2 4.8
Peak Current Arms 19.2 14.4
Force Constant N/Amrs 38.2 61.0
Back EMF Constant Vpeak/(m/s) 31.2 49.8
Inductance mH 10.4 38.0
Phase Resistance@25℃ Ohms 2.85 4.30
Magentic Attraction N 1619 1.45

 

Effective Stroke

Axis

Effective Stroke (mm) Moving Mass (Kg) Total Mass (Kg) Sensor Position (mm)
Trabeated Axis 510 4.6 29 514
Gantry Axis 510 34.8 103 514

Note: That granite mass is approx.778Kg.

 

Performance Parameter

Specification Parameter Unit GTD 400*200
2Straightness μm ±2.5μm/100mm,NTE±10μm for FS
2Flatness ±2.5μm/1005mm, NTE±10μm for FS
Repeatability (0.1μmresolution) ±1
Repeatability(0.5μmresolution) ±2.5
Repeatability(1μmresolution) ±5
Repeatability(Analogue) ±5
X-Y Orthogonality Arc-sec 10

Note:

2.All measurement taken when module is mounted on a 5 micron flat granite table and with 8Kg load.

 

 

Specification Module GHD620
Drive Type 1 T 或 H
Axis Top Bottom
Motor ACM1-L50 ACM1-L50
Performance Parameter Unit
Constant Force, Coil@100℃ N 182 182
Peak Force N 831.4 831.4
Motor Constant

N/SqRt(W)

25.6 25.6
Continuous Power W 50.3 50.3
Peak Power W 1050.6 1050.6
Magnetic Period mm 20 20
Max Coil Temperature 130 130
Constant Current Arms 4.2 4.2
Peak Current Arms 19.2 19.2
Force Constant N/Amrs 43.3 43.3
Back EMF Constant Vpeak/(m/s) 35.4 35.4
Induction mH 10.4 10.4
Phase Resistance@25℃ Ohms 2.85 2.85
Magnetic Attaction N 1619 1619

 

 

Effective Stroke

Axis

Effective Stroke (mm) Moving Mass (Kg) Total Mass (Kg) Sensor Position (mm) Sensor Position (mm)
Trabeated Axis 620 4.6 29 624 630
Gantry Axis 620 38.3 122 624 630

Note: That granite mass is approx.778Kg.

 

Performance Parameter

pecification Parameter Unit GTD 400*200
2Straightness μm ±3μm/25mm,NTE±10μm for FS
2Flatness ±3μm/25mm, NTE±10μm for FS
Repeatability(0.5μmresolution) ±4
Repeatability(1μmresolution) ±5
Repeatability (Analogue) ±5
X-Y Orthogonality Arc-sec 10

Note:

2.All measurement taken when module is mounted on a 5 micron flat granite table and with 8Kg load.

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