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  • Name: DGL XY シリーズ
  • Explain:
  • DGL XY はクリーンルームカバーが付いたデュアルガイドのステージで、アクリビスの標準的なCRカバーDGLシリーズモジュールによって作られています。

 

デザイン機能

A. ダイレクトドライブコアなしリニアモータ位置制御システム
B. 正確な動きとホーミング
C. クリーンルームカバー
 
DGL XY はクリーンルームカバーが付いたデュアルガイドのステージで、アクリビスの標準的なCRカバーDGLシリーズモジュールによって作られています。.高い剛性と位置決めの正確性が特徴で、クリーンルームの環境に適しています。

 

Motor Configuration

MODEL Axis Motor

Effective Stroke (mm)

Moving Mass (Kg) Total Mass (Kg) Sensor Position (mm) Hard Stopper Position(mm)
DGL200 Top AUM4-S2 300 3.1 29 304 320
AUM4-S3 300 3.4 29 304 320
Bottom AUM4-S3 300 24.9 103 304 320
AUM4-S4 300 26.1 103 304 320

Note: That granite mass is approx.240Kg. 

 

Performance Parameter

Specification Parameter Unit DGCR 300 DGCRS 300
1Straightness μm ±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm ±3μm/25mm,NTE±10μm/610mm
±3μm/25mm, NTE±10μm/300mm ±3μm/25mm, NTE±10μm/300mm
1Flatness ±3μm/25mm ±3μm/25mm,NTE±10μ
NTE±10μm/300mm NTE±10μm/300mm
Repeatability (1μm resolution) ±3μm (40μm scale pitch) ±3μm (40μm scale pitch)
Repeatability (0.5μm resolution) ±1.5μm (20μm scale pitch) ±1.5μm (20μm scale pitch)
Repeatability (0.1μm resolution) ±1μm (20μm scale pitch) ±1μm (20μm scale pitch)
Repeatability (Analogue) ±5 counts ±5 counts
X-Y Orthogonality Arc-sec 10 10

Note: All measurement taken when module is mounted on a 5 micron flat granite table.

添付ファイルをダウンロード: DGL-XY シリーズ 【查看】